Apa itu fotolitografi?
Fotolitografi adalah salah satu proses penting dalam produksi sirkuit terpadu (IC atau chip). Sederhananya, ini adalah proses menyalin pola sirkuit pada substrat dengan menggunakan photomask dan photoresist.
Substrat akan dicat pada lapisan isolasi silikon dioksida dan photoresist. Photoresist dapat dilarutkan dengan mudah dengan developer setelah terkena sinar UV, setelah disolver dan digores maka pola rangkaiannya akan tertinggal pada substrat.
Apa itu Fotoresist? Mengapa panjang gelombang UV 500 nm harus diblok?
Photoresist dikombinasikan dengan resin, pelarut dan aditif. Kisaran photoresist yang sensitif terhadap cahaya adalah 200nm-500nm. Oleh karena itu, banyak laboratorium semikonduktor akan mengadopsi cahaya kuning yang menghalangi panjang gelombang UV 500nm untuk mencegah situasi photoresist yang terlalu terang atau terlalu dini.
